各種空（kōng）氣過濾器在芯片廠的（de）使用

　　芯片廠當今半導體芯（xīn）片廠（chǎng）對生產（chǎn）環境空氣潔淨程度**挑剔，對空氣過濾器的要求也**苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。芯片廠用的高效過濾器和風（fēng）機過濾單元(FFU)出廠前要經過掃描測試。芯（xīn）片廠不認鈉焰法和DOP法的帳（zhàng）。下（xià）麵由北方濾器為大家講解各種空氣過（guò）濾器在芯片廠的使用：

　　芯片（piàn）廠（chǎng）特別在意過（guò）濾（lǜ）器上可能的微量揮發元素近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖（xiān）維高效過濾材料，這種材料沒有揮發物，但它帶靜電，過濾後的空氣要進行電中和以離子，少了個隱患，多了個麻煩。

　　但當芯片（piàn）的線寬小到0.5um時，人（rén）們發現空氣中的化學（xué）汙染物成了影響成品率（lǜ）的主要危害，於是，後建的芯廠空調係統中普遍配置了化學過濾器。

　　芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理和製造工藝並不複雜。

　　許多情況下，設計師和現場（chǎng）人員也說不清汙（wū）染物的種類和濃度，因此，芯片廠用的化學過濾（lǜ）器應具有兩（liǎng）個特點：廣譜吸附性能、足夠多的（de）吸附材料。

　　如果能確定汙染物種類（lèi），就可對吸附材料進行有針對性的化學處理，以（yǐ）增強對特定汙染物的吸附能（néng）力。

　　過濾器供應（yīng）商有時還要提供相應的現場檢測服務，以幫助（zhù）用戶確定化學過濾器的使用情況（kuàng），這就要求供應商中有（yǒu）搞化學過濾的**，並與實（shí）驗室有密切的關係。

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