ULPA過濾器特點及相關知識講解

　　ULPA過濾器全稱為超高（gāo）效空氣過濾（lǜ）器，或稱超低穿透率空氣過濾器，對0.1~0.2μm的微粒、煙霧（wù）和微（wēi）生物（wù）等塵埃粒子的過濾效率達到99.999%以上。ULPA超高效過濾網，ULPA是在HEPA的基礎上經進一步加強了HEPA的過濾（lǜ）效果,ULPA對0.3微米以上的微粒子的過濾效率（lǜ）達到99.9999%以上。ULPA與HEPA相比，濾料結構更（gèng）緊湊、過（guò）濾效率更高, 但同時， 阻力也更高。下麵由北方濾器為大家講解（jiě）ULPA過濾器特點及相關知識：

　　[一]ULPA過濾器（qì）特點：

　　濾（lǜ）芯用超（chāo）細玻璃纖維濾料（liào）經打膠折（shé）疊而成（chéng），外框（kuàng）可選用（yòng）夾層木（mù）板（bǎn）、鍍鋅銅（tóng）板、不（bú）鏽鋼板及（jí）鋁合金板，通過聚氨酯（zhǐ）膠緊密粘接，具（jù）有（yǒu）質量輕、透氣量大，集塵率高達（dá）99.95-99.999%，且耐堿（jiǎn），耐高溫。

　　[二（èr）]ULPA過濾器（qì）用途：

　　適用於10000級-100級潔淨係統，空調係統（tǒng），因此產品已應用於電子、微電子、半導體（tǐ）、光器件、生物和（hé）醫藥線路、照相機（jī）和光學儀器（qì）、精密機械等多個領域。

　　[三]ULPA過濾器測試方法及其特點：

　　1)粒子計數法

　　此法是以離散粒子計數器 (DPC) 作為檢測儀（yí）器，測試用氣溶膠可以（yǐ）是單分散或（huò）多分散液（yè）體或固體物質，選擇範圍較寬，常用多分（fèn）散氣溶膠，如 DOP 或其替代的 DOS 等液態物質（zhì）所發生的。此法（fǎ）靈敏度較高，目前主要用於 ULPA 過濾器（qì）其 η≥99.999 % (0.1-0.2μm) 的測 試，當然亦可用於 HEPA 過濾器的測（cè）試。替代 DOP 法當已是趨勢。

　　2)DOP法（fǎ）

　　此法是以光度計作檢（jiǎn）測，測試用氣溶膠必須是單分散 (0.31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等（děng）液態物（wù）質所發生的。

　　3)鈉（nà）焰法。

　　此法采用火焰光度計，它對 NaCl 燃燒的火（huǒ）焰色度 ( 相當於 NaCl 的質量 ) 作（zuò）響應， NaCl 質量粒徑分布在 0.02-2μm 間（jiān）或更狹一些。其（qí）質量平均粒徑 (MMD) 在 0.5-0.6μm 間。此法靈敏度低，且 NaCl 對微電子工廠的產品質量有害，因此國外早（zǎo）已（yǐ）不用。

　　4)MPPS法

　　過濾器（qì）測（cè）試時，需先（xiān）測定濾料的 MPPS ：另外，其對過濾器（qì）效率的測試不是采用整體測（cè）試，而是掃描測試每一處的局部穿透率（lǜ）然後統計處理得出穿透率及效（xiào）率。大允（yǔn）許局部穿透率比整體的高 5 倍或更多。

　　[四（sì）]ULPA過濾器（qì）誤（wù）差及控製

　　(1)氣溶膠濃度變化會影響測試結果，因（yīn）此其濃度均勻及穩定亦是必須保證的，常需通過混勻器及多（duō）點測試並調整進行控製。

　　(2)流速，除粒徑外是影響過濾器效率的較重要的因素。因此必須使流速均勻並穩定。常需通過測定並調整進行控製。

　　(3)氣溶膠粒子在測試係統內會沉積，會影響測試結果，需采用盡量短的管路並合理布置。

　　(4)在用冷（lěng）發的氣溶膠時，氣溶膠在噴嘴內進行機（jī）械破碎時會帶（dài）靜電 ( 熱發時不存在 ) ，因此需要設中（zhōng）和器加以中和，以（yǐ）免粒子（zǐ）沉積。

　　(5)采用粒子計數器作檢測時，需注意（yì）避免重疊誤差需采用稀釋器及本底噪音值的控（kòng）製並（bìng）及（jí）時校正。

　　(6)管路內壁由於氣流流動時會積（jī）聚（jù）靜電，影響氣（qì）溶膠粒子（zǐ）沉積，因此需采用金屬管道並接地。

　　(7)粘度、壓降、溫濕度、振動以及非（fēi）等動力采樣都會在條件下對測試產生影響，一般有（yǒu）的關係不大，有（yǒu）的易控製或在計算時加以修正。

　　ULPA過濾器在各個行業（yè）使用都非常，它適用於10000級-100級（jí）潔淨係統，空調係統，因此產品已應用於電子、微電子、半導體（tǐ）、光器件、生物和醫藥線路、照相機和光學儀器、精（jīng）密機械等多個領域。

　　更（gèng）多關注：

ULPA過（guò）濾器產品特點及使用範圍